Inspectiesysteem

Het Motionplatform van Q-sys is in nauw overleg met de klant ontworpen. Er zijn daarbij verschillende voorzieningen aangebracht waarvan de klant gebruik kan maken bij het verder opbouwen van de uiteindelijke testopstelling. Belangrijke aspecten voor het motionplatform zijn de dynamische bewegingen en de geometrische nauwkeurigheden.

Vanwege de gevraagde specificaties is er gebruik gemaakt van een lineaire motor en zijn de kogelomloopgeleidingen direct op het graniet gemonteerd. Op deze manier kon er worden geprofiteerd van de indrukwekkende vlakheid die met graniet kan worden gerealiseerd. De rechtheid van beweging bedraagt 5µm en de vlakheid van beweging 3µm.