Kalibratieplatform

Het kalibratieplatform van Q-Sys is volledig op klantspecificatie gebouwd. Het is bedoeld voor het zeer nauwkeurig kalibreren van autocollimatoren.

Clean room
De drie assen zijn allemaal uitgevoerd met luchtlagers en worden direct aangedreven. Het gaat hierbij om één lineaire as en twee rotatieassen. Het gehele platform is geïnstalleerd in een clean room en staat opgesteld op zes trillingsisolerende poten. Deze zijn zodanig gekoppeld dat ze als drie oplegpunten fungeren.

Kantelfouten
De te kalibreren autocollimator wordt op de lineaire as geplaatst. Vanwege de toepassing is het belangrijk dat kantelfouten van de slede zo klein mogelijk zijn. Deze zijn over de volledige slag van 1,5 m kleiner dan 5 µrad. Aan de kolom worden twee referentie-autocollimatoren bevestigd.

Vervolgens wordt een optische reflector in de vorm van een kubus op de gestapelde rotatieassen geplaatst. Met deze twee assen kan de reflector snel en nauwkeurig in een andere hoekoriëntering worden gebracht. De herhaalnauwkeurigheid van de rotatieassen bedraagt 0,1 µrad. Het kalibratieplatform wordt door Q-Sys, inclusief besturing, bij de klant geïnstalleerd.