Lasersensor

De SUNX precisie displacement sensor HL-C2 van Panasonic, is een lasersensor waarmee onder meer de kwaliteit van glassubstraten is te meten. Het gaat hierbij om de dikte van het substraat of de positie ervan. Ook oneffenheden op het substraat zijn met de HL-C2 vast te stellen. Daarnaast is de sensor toe te passen voor het controleren van de kwaliteit van miniatuurcomponenten of excentriciteitmetingen van precisiewalsen.

Hoge nauwkeurigheid

De serie lasersensoren is ontwikkeld met het oog op de toekomst waarin de eisen met betrekking tot nauwkeurigheid alleen maar zullen toenemen. Om deze hoge nauwkeurigheden te realiseren, zijn voor deze sensor speciale High Density Linear Cell (HDLC)-CMOS sensor chips ontworpen.

De high precision variant van de sensor heeft een meetbereik van 1 mm, een maximale resolutie van 10 nm en een maximale samplefrequentie van 100kHz. Tevens zijn standaard varianten beschikbaar met een groter meetbereik.