Positioneerplatform

Het concept is gebaseerd op dat van een zogenaamd co-planair luchtlagersysteem. Echter in dit geval maakt de ene as gebruik van mechanische lagering en “iron-core” lineaire motoren en is daarmee zeer geschikt voor het uitvoeren van snelle nauwkeurige stapjes. De andere as, de slede van het systeem, in dit concept ook wel zadel genoemd, wordt gelagerd met behulp van luchtlagers en aangedreven middels een “epoxy-core” lineaire motor. De luchtlagers in combinatie met de contactloze motor en positieterugkoppeling maken een extreem gladde beweging mogelijk die voor scan-toepassingen noodzakelijk is.

Het toepassen van mechanische lagering en “iron-core” motoren op de ene as heeft naast voordelen voor specifieke toepassingen ook een gunstig effect op de kosten. Door het uitgekiende ontwerp zijn de kantelfouten van het systeem minimaal, ondanks het toepassen van mechanische lagering op de ene as.

Typische specificaties die met de luchtlageras worden gehaald zijn: herhaalnauwkeurigheid 0.5µm en nauwkeurigheid 2µm. Vlakheid van beweging 5µm.