Linialen

Heidenhain heeft linialen ontwikkeld voor toepassingen in hoogvacuüm en ultrahoogvacuüm. Bij deze systemen worden bijzondere componenten toegepast die eigenschappen hebben die nodig zijn bij het gebruik in vacuüm.

Terwijl in onderdruk en vacuümtoepassingen de gewone meetsystemen kunnen worden gebruikt, worden in hoog- en ultrahoogvacuüm eisen gesteld aan de voor het positioneren gebruikte meetsystemen, zoals tegen vacuüm bestande printplaten, kleefstoffen en coatings, in verband met uitgassen; open holle ruimtes om vacuümpomptijd te verkorten; laserbeschrijving in plaats van stickers; bestandheid tegen hoge uitgastemperaturen; geen ferromagnetische materialen; speciale tegen vacuüm bestande kabels; en goede reiniging in de cleanroom voor een hoge zuiverheid.

De vacuümmeetsystemen bestaan uit een liniaal, een aftastkop en elektronica. Als toebehoren zijn klemmen, houders en vacuümlijm, net als vacuümdoorvoeren en verlengkabels beschikbaar. Voorbeelden van toepassingen voor lengte- en hoekmeetsystemen zijn onder andere elektronenmicroscopen, manipulatoren, XY-tafels, E-beam-microscopen voor waferinspectie in de halfgeleiderindustrie of spectrometers voor het meten van de straling in een deeltjesversneller, zoals een synchrotron.

De vacuümsystemen zijn in drie uitvoeringen leverbaar: LIF 481V, LIP 481V en LIP 481U. Deze typen worden gekenmerkt door nauwkeurigheid, de vacuümklasse, de uitgastemperatuur en de elektrische aansluiting.