Optische encoder

De Mercury II 6000V van MicroE Systems is een optische encoder die nanometerresolutie biedt in hoogvacuüm (tot 10-8 torr) omgevingen. Kenmerkend zijn de compacte afmetingen (de encoder is 8,2 mm hoog) en de nauwkeurigheid van 1,2 nm. Daarnaast voorzien ze in lineaire of roterende schalen met ingebouwde index en limieten. De verschillende eigenschappen maken de componenten geschikt voor onder meer SEM en TEM, halfgeleider-processing en metrologie, focus- en diafragmacontrolemechanismen en XY-stadia voor vacuüm omgevingen.

Aanpassen

De encoder is geschikt voor zowel lineaire als roterende toepassingen en is daarnaast aan te passen door bijvoorbeeld de outputresolutie te programmeren. Voor hogesnelheids toepassingen biedt hij een snelheid van 1 m/s bij een resolutie van 20 nm. De warmteproductie bedraagt 250 mW hetgeen belangrijk is voor toepassingen met nanometer-level positionering.

Uitvoeringen

MicroE Systems encoders zijn beschikbaar in een groot aantal formaten, prestatie- en waarde-opties. Bijvoorbeeld lineaire, roterende, digitale, analoge, programmeerbare, hoognauwkeurige, miniatuur-, kostengunstige PCB-montage en vacuümgeschikte modellen.