Luchtgelagerde as

Op de vraag van een klant of Q-Sys een positioneeras voor een optisch meetplatform zou kunnen leveren, kwamen wij met de suggestie om een aangepaste versie van een door ons eerder gebouwd systeem toe te passen. Het gaat daarbij om de bovenste as van ons ontwerp voor een LTP (Long Trace Profilometer), dat in verschillende laboratoria in de wereld wordt toegepast. Het concept bestaat uit een granieten balk, opgesteld op twee kolommen.

De beschikbare slaglengte in dit geval is ongeveer 1 m. In de toepassing kan de slede ofwel kleine stapjes maken of met een hele constante snelheid van de ene naar de andere kant bewegen (scannen). De nauwkeurige metingen worden uitgevoerd met het systeem in een speciale, thermisch stabiele, omkasting. Mede door de kleine warmtedissipatie van het systeem (minder dan 0,5 W), biedt dit de condities voor goede resultaten. Het lineaire meetsysteem heeft een resolutie van 20 nm.

Voor wat betreft de geometrische nauwkeurigheden kan worden opgemerkt dat alle hoekverdraaiingen binnen 2 boogseconden liggen en de rechtheid en vlakheid van de beweging binnen 2 µm. Voor andere klanten zijn wijzigingen in het ontwerp vanzelfsprekend mogelijk en er zijn nu al concepten met slaglengtes tot 1500 mm.